多晶矽之產製、應用與其器材修護技術：材料世界網

多晶矽之產製、應用與其器材修護技術所謂的多晶(Polysilicon) ，就是一種由多個不同結晶方向(Crystal Orientation)的小單晶矽晶粒(Single Crystal of Silicon Grains)所組成的純矽物質。更簡單的說，就是介於晶矽與非晶矽(Amorphous Silicon)之間的一種純矽。其中，多晶矽內的每個單晶晶粒彼此間有一種二次元缺陷Defects)－晶粒界面(Grain Boundary)所隔開。因為晶粒界面內含有各種的線缺陷Line Defects)及點缺陷(Point Defects) ，這使得雜質經此晶粒界面進行的能力較經由晶粒內部的擴散來得快。惟本文僅討論多晶矽之製品。

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